真空计

　　真空计用于测量真空度或低于大气压的稀薄气体的气压，是一种使用广泛的仪表。真空计的种类有很多，适用范围也各有不同。掌握常见的真空计种类有利于正确选择真空计类型。
　　
　　真空计可分为绝对真空计和相对真空计两大类。
　　
　　一、绝对真空计
　　
　　能从液柱高度、比重等本身测得的物理量直接计算出气体压力的真空计。绝对真空计测量精度较高，主要用作基准量具。
　　
　　1.U形管真空计
　　
　　原理：在U字形的玻璃管中充以工作液(低蒸气压的油、汞)。管的一端与待测压力的真空容器相连，另一端是封死的或开口与大气相通。根据两边管中的压差所造成的液柱差可测出被测真空系统的压力。
　　
　　测量范围：粗真空(105～102帕)、低真空(102～10-1帕)
　　
　　2.压缩式真空计(麦克劳真空计)
　　
　　原理：把待测压强气体的一部分进行隔离并加以压缩，直到压强增大到可以直接测量的程度，然后根据波义耳-马略特定律求出原来待测的压强
　　
　　测量范围：低真空(102～10-1帕)、高真空(10-1～10-5帕)
　　
　　二、相对真空计
　　
　　利用气体在低压力下的热传导、电离、粘滞性和应变等物理特性与压力的关系间接测量气体压力。相对真空计能直接读出被测压力，使用广泛，但是测量精度较低，测量结果与被测气体种类和成分有关，因此须用绝对真空计标定和校准后方能用作真空测量。
　　
　　1.电阻真空计(皮拉尼真空计)
　　
　　原理：真空度影响空气的热传导性，从而影响正在加热的电阻丝的温度。因为电阻丝的电阻率与温度有关，所以不同的真空度电阻率也会不同，导致电压发生改变，根据电压的变化就能换算出空气压强。
　　
　　测量范围：低真空(102～10-1帕)
　　
　　2.热阴极电离真空计(电离真空计)
　　
　　原理：当气体导电时，气体分子与高速飞行的电子发生碰撞而电离， 碰撞的频率与气体分子的密度有关。密度大， 碰撞的频率就高，产生的离子也越多；而气体分子的密度又与气体的压强有着直接关系， 因此， 如果能测定气体中被电离的离子流的大小， 即可确定气体的压强。
　　
　　测量范围：高真空(10-1～10-5帕)
　　
　　3.冷阴极电离真空计
　　
　　原理：与热阴极电离真空计一样，是利用低压力下气体分子的电离电流与压力有关的特性，用放电电流做为真空度的测量。不同的是冷阴极电离真空计利用的是真空中的高电压放电现象，也被称为冷规。
　　
　　测量范围：高真空(10-1～10-5帕)