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2018年度科技部“重大科学仪器设备开发”重点专项已经启动,上海市计量测试技术研究院机械制造所作为重要课题承担单位积极参与申报两项重大科学仪器开发专项,分别是“微纳结构动态特性测试仪的开发和应用”和“高精度三维螺纹综合测量仪的开发和应用”。
“微纳结构动态特性测试仪的开发和应用”项目主要针对微纳结构与微机电系统(MEMS)器件动态特性测试的需求,突破高信噪比时空调制和自动调焦等关键技术,开发具有自主知识产权、质量稳定可靠、核心部件国产化的微纳结构动态特性测试仪,开发相关软件和数据库,实现微纳结构与MEMS器件的振动频率、模式模态等特性测量分析以及典型缺陷识别。上海市计量测试技术研究院承担该项目中的“微纳结构动态特性测试仪性能评测方法研究”课题,将重点研究微纳结构标准振动模态激励方法,搭建校准系统平台,实现对激光测量系统关键参数的精确评价,并开展试验验证和关键参数的不确定度评定。
“高精度三维螺纹综合测量仪的开发和应用”专项重点针对先进制造领域螺纹几何参数的综合性检测需求,突破内外螺纹三维扫描高精度测头和三维参数高效重构关键技术,开发具有自主知识产权、质量稳定可靠、核心部件国产化的高精度三维螺纹综合测量仪,开发相关软件和数据库,实现螺纹全参数的三维自动扫描检测。上海市计量测试技术研究院承担该项目中的“高精度三维螺纹综合测量仪在普通螺纹领域的应用开发”的课题,将重点探索和检验仪器在普通螺纹领域中的应用,建立仪器应用于普通螺纹领域的应用方案,编写数字化螺纹数据库等。
科学仪器设备是科学研究和技术创新的基石,是经济社会发展和国防安全的重要保障。我院依托2014年度重大科学仪器开发专项“跨尺度微纳米测量仪的开发和应用”的成功经验,积极组织科研团队承担重要课题任务,为提升我国科学仪器设备的自主创新能力,促进产业升级发展,支撑创新驱动发展战略的实施做出积极的贡献。
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